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美國Coherent J-50MUV-193帶擴(kuò)散器脈沖能量傳感器 1110575

更新時(shí)間:2025-03-13

瀏覽量:1441

品牌：美國Coherent
型號(hào)：J-50MUV-193
描述：美國Coherent J-50MUV-193 125 μJ 至 250 mJ 脈沖能量傳感器，重復(fù)頻率高達(dá) 200 pps，光譜范圍為 0.19 至 0.266 μm，有效面積直徑為 50 mm。帶 ...
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產(chǎn)品介紹

美國Coherent J-50MUV-193帶擴(kuò)散器脈沖能量傳感器描述：

數(shù)據(jù)表

美國Coherent J-50MUV-193 125 μJ 至 250 mJ 脈沖能量傳感器，重復(fù)頻率高達(dá) 200 pps，光譜范圍為 0.19 至 0.266 μm，有效面積直徑為 50 mm。帶 MaxUV 涂層和擴(kuò)散器的熱釋電能量傳感器，用于以高達(dá) 200 pps 的速度測量 125 μJ 至 250 mJ 的激光脈沖。

這款 J-50MUV-193 能量傳感器采用 MaxUV 涂層和擴(kuò)散器，以提高最大能量密度，并針對(duì)在 193 nm 下工作的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器進(jìn)行了優(yōu)化。該傳感器直接在 248 nm 處校準(zhǔn)，包括 193 nm 至 266 nm 的光譜補(bǔ)償。它端接在 SmartProbe DB25 電纜中，直接與 FieldMaxII-TOP、FieldMaxII-P、LabMax-TOP 和 LabMax-Pro SSIM 儀表兼容。

大型散熱器（PN 1123432）可用于通過提高平均功率能力來擴(kuò)展 EnergyMax 傳感器的能量和重復(fù)頻率。

主要特點(diǎn)

193 至 266 nm 光譜范圍

50 mm 有效區(qū)域直徑

125 μJ 至 250 mJ 能量范圍

200 pps 重復(fù)率操作

ISO 17025 認(rèn)證

產(chǎn)品規(guī)格

電纜類型	J DB-25
有效面積直徑	50 mm
探測器涂層	MaxUV
能量范圍	125 μJ 至 250 mJ
波長范圍	190 nm 至 266 nm
噪聲等效能量	<4 μJ
最大熱釋電重復(fù)速率（每秒脈沖數(shù)）	200
最大脈沖寬度（微秒）	86
最大能量密度（毫焦耳/平方厘米）	200 （@193nm， 10納秒）
最大能量密度（毫焦耳/平方厘米）	400 （193 nm，10 ns）
擴(kuò)散	DUV
校準(zhǔn)不確定度（%）（k=2）	±3
能量線性度（%）	±3
校準(zhǔn)波長（納米）	193
電纜長度（米）	2.5